Analytik
Das analytische TEM ergänzt die Methoden konventionelle Abbildung (CTEM), Hochauflösungsabbildung (HRTEM) und Elektronenbeugung (ED) durch zwei Verfahren zur Elementanalyse:
energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS) und
Elektronenenergieverlust-Spektroskopie (EELS).
Dies wird durch zwei am Mikroskop angebaute Spektrometer realisiert.